聚焦半導體制程中的關(guān)鍵工藝，臺達充分發(fā)揮深耕工業(yè)自動(dòng)化的經(jīng)驗與優(yōu)勢，提升制程設備的效率，優(yōu)化設備的控制、驅動(dòng)及執行水平，全面提升設備的生產(chǎn)品質(zhì)和效率，實(shí)現半導體產(chǎn)業(yè)的精益智造。

　　在近日舉辦的2023南京半導體大會(huì )上，臺達向現場(chǎng)專(zhuān)業(yè)觀(guān)眾展示了以工業(yè)自動(dòng)化技術(shù)開(kāi)發(fā)的多款半導體設備解決方案，助力半導體晶片的生產(chǎn)效率與質(zhì)量雙提升。

　　01 清洗機解決方案

　　通過(guò)控制器內建的探針功能，快速同步實(shí)現精準控制，全面優(yōu)化清洗機運行效率;設備與上位系統無(wú)縫對接，提高設備管理的智能化水平。

　　02 晶圓取放解決方案

　　基于臺達機器人控制驅動(dòng)一體機MS系列強大的控制性能，搭配取放手臂，重復定位精度可達±0.01mm，快速響應晶圓手臂取放動(dòng)作。

　　03 分選機解決方案

　　伺服驅動(dòng)系統ASDA-A3提供軟著(zhù)陸功能，搭配微型直線(xiàn)電機及運動(dòng)控制軸卡，力控精確、響應快速，改善IC分選機檢測準確度。

　　04 劃片機解決方案

　　EtherCAT總線(xiàn)軸卡搭配高慣量的伺服電機，動(dòng)作快速且不振蕩;微型直線(xiàn)電機力量精準可控，降低觸發(fā)碰撞損壞的概率。

　　05 裸晶高速取放解決方案

　　內建力量控制并兼具高速高精運動(dòng)性能，滿(mǎn)足高精度及高響應需求;龍門(mén)同動(dòng)功能可達成雙直線(xiàn)電機共同驅動(dòng)單一軸向運動(dòng)提升CT及良率。

　　06 SECS/GEM解決方案

　　通過(guò)組態(tài)工具的設定和高度自動(dòng)化的無(wú)縫整合，協(xié)助客戶(hù)迅速的將SECS/GEM 標準導入設備，解決底層設備繁多及信息整合不易等問(wèn)題。

　　立足“芯”發(fā)展，恪守智能制造的本質(zhì)，臺達不斷以創(chuàng )新的工業(yè)自動(dòng)化技術(shù)助力半導體產(chǎn)業(yè)進(jìn)行設備和產(chǎn)線(xiàn)的智能化改造升級，幫助企業(yè)降低成本，提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品品質(zhì)，與半導體行業(yè)攜手推進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展!