線(xiàn)邊倉又稱(chēng)暫存倉或Stocker，目的是在制造過(guò)程中，將晶圓暫存于生產(chǎn)線(xiàn)旁邊的儲存區，可以最大幅度地減少晶圓的運輸距離和時(shí)間，以便進(jìn)行下一步的處理或傳輸。在半導體制程中，晶圓線(xiàn)邊倉可能置于以下位置：

　　在半導體制程中

　　晶圓線(xiàn)邊倉可能置于

　　以下位置

　　前端制程設備旁：例如清洗、曝光和刻蝕。

　　后端制程設備旁：例如鍍膜和檢測。

　　轉換站點(diǎn)：這些站點(diǎn)通常用于從一個(gè)制程轉移到另一制程，方便晶圓的轉移和暫存。

　　應用場(chǎng)景

　　線(xiàn)邊倉是電子行業(yè)的重點(diǎn)設備之?，主要應用于半導體、PCB、電子零件、工具機等產(chǎn)業(yè)，因應5G時(shí)代來(lái)臨，待取物的價(jià)值越來(lái)越高，制程精密不能碰撞且需要更佳的存放方案。

　　半導體：晶圓、晶圓盒

　　PCB：?jiǎn)蚊?、多面、多層?/p>

　　電子零件：電容、電感

　　塑料射出工件、金屬加工

　　PART 01

　　沒(méi)有線(xiàn)邊倉，會(huì )有什么影響?

　　生產(chǎn)效率降低

　　沒(méi)有線(xiàn)邊倉意味著(zhù)在生產(chǎn)過(guò)程中，需要不斷地將晶圓從一個(gè)制程轉移到另一個(gè)制程，每次轉移都需要額外的時(shí)間和人力。

　　生產(chǎn)流程不穩定，增加污染風(fēng)險

　　在生產(chǎn)過(guò)程中，晶圓需要在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行處理，以防止污染影響芯片的質(zhì)量。沒(méi)有線(xiàn)邊倉意味著(zhù)晶圓可能暴露在不受控制的環(huán)境中進(jìn)行轉移，這會(huì )增加污染的風(fēng)險，對芯片的質(zhì)量產(chǎn)生負面影響。

　　傳統六軸手臂所需操作空間大，價(jià)格高昂;

　　取放臂移動(dòng)路徑受限運動(dòng)學(xué)，直行與圓弧切換移動(dòng)頓挫感大;

　　機臺類(lèi)型多樣化，傳統手臂機構尺寸固定，無(wú)法滿(mǎn)足需求;

　　不同品牌電控設備之間通訊整合困難。

　　PART 02

　　線(xiàn)邊倉工藝解析

　　1 HMI 動(dòng)態(tài)監控

　　實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)顯示手臂運行過(guò)程中的電機電流及轉速;使用者可透過(guò)前FOUP (開(kāi)式晶圓傳送盒) 開(kāi)門(mén)掃片功能掌握殘片數量。

　　2 客制化監控畫(huà)面

　　包含PCB板數量、設備運作狀態(tài)、總產(chǎn)量、產(chǎn)能、設備生產(chǎn)速度參數、手臂電機電流與轉速動(dòng)態(tài)監控等。

　　3 掃片功能

　　FOUP開(kāi)門(mén)掃片采連續不間斷高速掃描，掃描 20片需時(shí)約 5 秒。

　　4 PLC

　　通過(guò) Ethernet連接SCM指令并經(jīng)由 Modbus TCP進(jìn)行數據交換，建立手動(dòng)控制變頻器、伺服系統、工業(yè)機器人、氣缸等功能。

　　5 伺服系統

　　FOUP設定正負行程極限與電機Servo off剎車(chē)機制，PR模式+通信設置。

　　6 工業(yè)機器人

　　設定Z軸回升電阻規格、外擴軸，以DMCNET模式控制Z軸升降。

　　7 變頻器

　　搭配光電傳感器部署安全防護措施，若上方有板件，就不會(huì )再進(jìn)板。

　　8 取框

　　整框PCB板由入料口或儲格內取出，手臂會(huì )由框內的下安全點(diǎn)，垂直向上頂至上安全點(diǎn)，再移動(dòng)到各面原點(diǎn)等待。

　　9 放框

　　整框PCB板由等待點(diǎn)移動(dòng)至儲格或出料口的上安全點(diǎn)，并垂直向下至下安全點(diǎn)，放置完成后手臂再移動(dòng)至原點(diǎn)，完成取放動(dòng)作。

　　10 生成點(diǎn)位

　　只需對最下層的儲格進(jìn)行教點(diǎn)，手臂內會(huì )記錄點(diǎn)位與高度，搭配HMI 輸入偏移量等信息，可自動(dòng)生成手臂取放點(diǎn)位。

　　11 路徑疊合

　　直線(xiàn)運動(dòng)與點(diǎn)對點(diǎn)運動(dòng)路徑疊合，手臂運行過(guò)程無(wú)停頓，動(dòng)作流暢并縮短CT。

　　PART 03

　　臺達解決方案

　　PART 04

　　臺達方案特色

　　節省空間

　　可向內旋轉切換手系，無(wú)須將各軸伸直，有效節省機臺空間;

　　動(dòng)作路徑平滑

　　通過(guò)S-curve設定解決加減速時(shí)頓挫問(wèn)題，使手臂附載移動(dòng)更加平穩;

　　內建機器人運動(dòng)學(xué)

　　可依照客戶(hù)提供機構參數，進(jìn)行客制化手臂模型建立;

　　全 Modbus方案

　　整合Modbus通訊協(xié)議，解決開(kāi)發(fā)者需要處理復雜數據交換的不便性，節省開(kāi)發(fā)時(shí)間;

　　誤差補償

　　取放指令可以搭配偏移量，如有機構誤差，可通過(guò)此功能進(jìn)行點(diǎn)位修正。

　　晶圓搬運在市場(chǎng)上面臨著(zhù)高精度、復雜環(huán)境、安全性、整合難度、成本壓力、生產(chǎn)效率等多重挑戰。臺達晶圓線(xiàn)邊倉搬運解決方案使用全套臺達運動(dòng)控制方案，不僅到位精度及CT時(shí)間達到客戶(hù)要求，整體系統成本較過(guò)往更是省下65%，達到臺達與客戶(hù)雙贏(yíng)的成果。